تاثیر دمای زیرلایه بر روی خواص نانوساختاری لایه نیترید زیرکونیوم

Authors
abstract

در این تحقیق تاثیر دمای زیر لایه در محدودهc˚450-100 برخواص ساختاری لایه های نیترید زیرکونیوم که به روش کندوپاش شعاع یونی روی زیر لایه شیشه وسیلیکون تهیه شده است، مورد بررسی قرار گرفته است. تعین ضخامت لایه ها با استفاده از آنالیز rbs (طیف پس پراکندگی رادرفورد)   و تعیین فازهای کریستالی با توجه به آنالیز xrd (پراش پرتو x) انجام شده است. نتایج xrd  نشان داد که با افزایش دما تا c˚400 بر میزان بلوری شدن فاز نیترات زیرکونیوم افزوده شده ولی در دمای بالاتر، کاهش یافته است. در تمامی دماها جهت [111] فاز نیترات زیرکونیوم جهت ترجیحی است. نتایج rbs  نشان داد که ضخامت لایهzrn در دماهای بالاتر نسبت به دمای c‏ ˚100 افزایش یافته که می تواند به دلیل افزایش تشکیل    مونومر های zr-n  برای تشکیل لایه وافزایش اندازه دانه باشد و نیز کاهش ضخامت در دمای ˚c 450 به افزایش چگالی لایه وکاهش اندازه دانه مربوط است.

Upgrade to premium to download articles

Sign up to access the full text

Already have an account?login

similar resources

بررسی اثر دمای زیرلایه بر خواص ساختاری و فیزیکی لایه نازک کربن انباشت شده به روش کندوپاش پرتو یونی

در تحقیق حاضر اثر دمای زیرلایه در محدوده ºC 400-36 بر خواص ساختاری و فیزیکی لایه نازک کربن ایجاد شده بر سطح شیشه به روش کندوپاش پرتو یونی بررسی شده است. خواص نوری و ساختاری لایه به ترتیب به وسیله طیف سنجی UV-visible، طیف سنجی رامان و میکروسکوپ نیروی اتمی مورد مطالعه قرار گرفته است. اندازه‏گیری طیف عبور نمونه ها کاهش میزان عبور نور در محدوده مرئی با افزایش دمای انباشت را نشان می دهد. طیف رامان ل...

full text

تاثیر ولتاژ بایاس بر ساختار، مورفولوژی و سختی پوشش نیترید زیرکونیوم ایجاد شده به روش کندوپاش مغناطیسی واکنشی

در این پژوهش لایه های نیترید زیرکونیوم روی سیلیکون و فولاد زنگ نزن ۳۰۴ با روش کندوپاش مغناطیسی واکنشی پوشش داده شدند. تاثیر ولتاژ بایاس زیرلایه روی ساختار لایه ها، مورفولوژی و سختی مورد بررسی قرار گرفت. لایه ها بوسیله ی پراش اشعه ایکس، میکروسکوپ الکترونی روبشی، میکروسختی سنجی و میکروسکوپ نیروی اتمی آنالیز شدند. بر اساس الگوهای پراش اشعه ایکس، تنها پیک های پراش ZrN مربوط به صفحات (۱۱۱) و (۲۰۰) م...

full text

خواص ابرخازنی نیترید کربن گرافیتی لایه نشانی شده بر روی بستر نانوساختارهای متخلخل دی اکسید تیتانیوم احیا شده

در این مطالعه، نیترید کربن گرافیتی (g-C3N4) از چگالش گرمایی ملامین در دو دمای 450 و 550 درجه سانتیگراد ساخته شد. همچنین، الکترود نانوساختارهای متخلخل دی اکسید تیتانیوم (TiO2 NP) به عنوان بستر برای لایه نشانی g-C3N4 با روش آندیزاسیون بر روی فویل تیتانیوم (Ti) ساخته شد و سپس برای بهبود رسانندگی الکتریکی به روش الکتروشیمیایی احیا گردید. لایه ن...

full text

تاثیر جنس و فاصله زیرلایه روی ویژگیهای لایه نشانی نانو پودر آلومینا به روش پاشش پلاسمایی

In this paper, the effect of the material and distance of the substrate on the characteristics of gamma alumina nanopowder coated by plasma spray method are investigated. For this purpose alumina nanopowder were coated on the two types of stainless steel and Pyrex glass substrates using a plasma torch. Morphological characteristics of the prepared nanolayer are studied by investigating the scan...

full text

تاثیر دمای پوشش دهی بر میکروساختار و خواص فرسایشی حفره‌زایی پوشش نیترید تیتانیم اعمال شده بر روی فولاد زنگ نزن 316 به روش PACVD

در این پژوهش، بهبود خواص فرسایشی فولاد زنگ‌نزن آستنیتی 316AISI توسط ایجاد لایه‌ی نانوساختار نیترید تیتانیم(TiN) به روش DC- PACVD مورد بررسی قرار گرفت. برای این منظور، پوشش TiN، در سه دمای 470، 490 و °C510، و فرکانس KHz 10، در چرخه کاری ثابت 33% ایجاد شد. میکروساختار، سختی و خواص فرسایش پوشش‌ها به ترتیب بوسیله میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی و پراش پرتو ایکس، میکروسختی و آزمون فرسایش حفره زا...

full text

My Resources

Save resource for easier access later


Journal title:
علوم و مهندسی سطح ایران

جلد ۷، شماره ۱۲، صفحات ۱۷-۲۳

Hosted on Doprax cloud platform doprax.com

copyright © 2015-2023